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ルツボ
ルツボの特性 ルツボの特性
クオーツルツボに関するさまざまな特性を検討するグラフおよびデータを表示します。
化学特性 化学特性
どのような不純物があれば、ルツボを最適な状態で使用できるかを調べます。
ルツボのサイズ ルツボのサイズ
用途に合ったサイズのルツボについて、ここから見つけてください。
バブル構造 バブル構造
バブル構造は、正しいルツボを選ぶ上で重要です。
コーティングルツボ コーティングルツボ
コーティングルツボは、新たなプロセスおよび製品の設計に柔軟性をもたらします。

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ルツボの製造

石英ガラスルツボは、半導体ウェーハアプリケーション用のシリコンメタル、およびポリシリコンの 製造に使用されます。高品質のウェーハを製造するために、高温に熱し、溶解 ｶ成物から単結晶の状態で引き出したルツボに出発原料を加えます。溶融石英は、このプロセスに必要な高純度特性と高温特性をあわせ持つことのできる、数少ない物質のひとつです。

用途に合ったルツボの種類が不明な場合は、情報セクションをご利用ください。

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