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EN - Ovality Collapse
クオーツ >> 特性 >> 通気性
基本的に溶融石英はほとんどの気体を通しません。ただし、ヘリウム、水素、重水素およびネオンはガラスを通して拡散する場合があります。拡散速度は温度や圧力差が高いほど増加します。
ヘリウム精製方法の基本として、ヘリウムを溶融石英に通して選択的に拡散させます。これは、壁の薄い石英チューブに気体を透過させ、汚染物を基本的に「ふるいにかける」ことによって行われます。
溶融石英によるヘリウム、水素、重水素およびネオンの拡散は、温度が上昇すると加速します。ゼネラルエレクトリック リサーチラボによれば、これらの気体が溶融石英を透過する透過定数は 700 °C で推定されています。
ヘリウム 2.1 x 10
-8
cc/sec/cm2/mm/cm Hg
水素 2.1 x 10
-9
重水素 1.7 x 10
-9
ネオン 9.5 x 10
-10
石英中の拡散
半導体に使用する場合、様々なイオンをクオーツに通して拡散することがきわめて重要な意味を持ちます。付属の表は、様々なイオンが厚みの異なるクオーツを通して拡散する時間を示しています。これらの計算値は、拡散係数と 1000°C の温度に基づいています。
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追加情報およびダウンロード
石英中の拡散表
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