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Momentive Performance Materialsは、石英製品の加工業者に高純度の石英ガラスを提供する世界有数の企業です。純度の異なる、 3 種類の標準材料からなる素材を提供しています。
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GE 124
GE 124 インゴットは、 CVD 炉・拡散炉の部品とエッチング部品における半導体業界の選定材料として 20 年以上も利用されています。
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解説
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一般的な用途
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直径 72 インチで厚みが 26 インチのインゴットとして、透明な石英ガラス板材と窓用の材料が製造されます。この材料は純度が高く、僅かの細かいバブルを含みます。他に各種サイズと形状があります。
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半導体業界用のウェーハキャリヤ―とフランジの加工および低コストの商業品質が要求される各種の光学用途に使用されています。
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より大きなウェーハサイズ、より小さなデバイス設計寸法、さらに汚染レベルの一層の低下が求められるため、 Momentive でもさらに高純度の製品の開発を行っています。
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GE 144
GE 144 はアルカリ含有量を最高で 90 % まで低減するための特殊な処理が施されています。ナトリウムは 0.2 ppm 以下に抑えられ、カリウムは大幅に低減されて、リチウムは約 0.2 ppm になっています。
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解説
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一般的な用途
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グレード 124 と同じように、アルミニウム、カリウムおよびナトリウムの含有率は低くなります。
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グレード 124 と同じように、アルミニウム、カリウムおよびナトリウムの含有率が低く、アルミニウム、カリウムおよびナトリウムの含有量が低い製品を好む加工業者向けです。
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GE 012
GE 012 は、 (OH)- を 5 ppm 未満と低く抑えながら、超高純度の合成石英ガラスを提供します。
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解説
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一般的な用途
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GE 124 と同じ形状の透明な合成石英ガラスのインゴットです。
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超高純度な性質によって、重要な半導体処理工程に使用されるプレートとディスクに適しています。
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Momentive Performance Materials
